行星减速机由太阳轮、行星轮、内齿圈和行星架构成。运作时，电机带动太阳轮，行星轮在自转同时绕太阳轮公转，进而驱动行星架输出动力。行星齿轮组精度很关键，高精度能保证各齿轮啮合精准，传动平稳。

若行星齿轮组精度欠佳，如齿形误差大，会使啮合冲击加剧，引发减速机抖动。此外，装配不当、轴承磨损等也可能导致抖动。