在行星减速机运作过程中，太阳轮驱动行星轮，行星轮与内齿圈配合，把动力传递给行星架实现减速。行星齿轮组精度决定了各齿轮间配合的紧密程度。若精度不够，例如存在轴向窜动，会使齿轮啮合不稳定，产生抖动。

此外，润滑不足、部件疲劳等因素也可能加剧抖动现象。